論文掲載：IEEE Sensors Journal

M. N. Mohamed Zukri, M. S. Al Farisi, Y. Hasegawa, M. Shikida, Laser Micromachining 3D Free Standing Structure of MEMS Thermal Flow Sensor, IEEE Sensors Journal, Vol. XX, No. XX, pp. XX–XX, in press (2025). DOI: 10.1109/JSEN.2025.3559179 (Preprint: TechRxiv:174494957.77800988)

臨時更新します。