学会:第6回マイクロナノ工学シンポジウム(松江,島根県)で研究発表を行いました(2014年10月22日)。

[1] 銅張積層板を用いた熱式フレキシブルセンサに関する研究(柴田峻志, 新美洋介, 式田光宏)
[2] 結晶異方性エッチングを用いた三角錐構造体作製方法に関する研究 (今枝航大, 別所克彦, 式田光宏)
[3] 樹脂製フィルムデバイスへのMEMS応用 (式田光宏)

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